4Ll酸純化器超純酸制備系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室*產(chǎn)酸率100ml/h，提取不同酸硝酸、鹽酸、HF酸等.全部采用高純聚四氟乙烯材質(zhì)加工定制，材料純凈。利用熱輻射原理，保持液體溫度低于沸點(diǎn)溫度蒸發(fā)，再將其酸蒸氣冷凝從而制備高純水和高純?cè)噭瑥V泛應(yīng)用于樣品處理及分析實(shí)驗(yàn)中。

一.產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、可以滿足ICP、ICP-MS低的檢測(cè)限需要及苛刻的分析應(yīng)用中提供實(shí)驗(yàn)室級(jí)超純酸，所用容器均采用Teflon耐腐蝕無吸附塑料，可處理如HNO3、HCl、HF等實(shí)驗(yàn)室的常用酸。

2、實(shí)驗(yàn)證明將金屬雜質(zhì)含量約10ppb的酸經(jīng)過一次蒸餾后，金屬雜質(zhì)含量可以降低到0.01ppb左右。若對(duì)酸要求更高，可增加提純次數(shù)。4Ll酸純化器超純酸制備系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室*產(chǎn)酸率100ml/h

二.相關(guān)參數(shù)：

三、使用注意事項(xiàng)：
1、所有配件（控制器、電源線、加熱片等除外）放入按實(shí)驗(yàn)要求一定濃度的酸液中浸泡，去除雜質(zhì)。

1. 加酸前必須做好個(gè)人防護(hù)如：防濺眼鏡、防酸手套等（蒸水除外）。

【電子級(jí)酸】：

適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中所用產(chǎn)品的清洗和蝕刻以及痕量金屬元素殘留分析，根據(jù)質(zhì)控的金屬元素含量的數(shù)量和含量，劃分為4個(gè)級(jí)別：MOS級(jí)，VLSI級(jí)，ULSI級(jí)，SLSI級(jí)

MOS級(jí)（EL級(jí)）：控制十多個(gè)金屬元素，單項(xiàng)金屬元素雜質(zhì)控制在100PPb左右

VLSI級(jí)：控制三十多個(gè)金屬元素，單項(xiàng)金屬元素雜質(zhì)控制在10~100PPb

ULSI級(jí)：控制三十多個(gè)金屬元素，單項(xiàng)金屬元素雜質(zhì)控制在10PPb以下

SLSI級(jí)：控制三十多個(gè)金屬元素，單項(xiàng)金屬元素雜質(zhì)控制在1PPB以下

所謂的電子級(jí)酸，其實(shí)就是ppb或者ppt級(jí)的高純酸。

實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)（僅供參考）：儀器：CH-I 酸純化器；試劑：優(yōu)級(jí)純的酸

蒸餾后，經(jīng)中國(guó)地質(zhì)大學(xué)地質(zhì)過程與礦產(chǎn)資源重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室ICP-MS檢測(cè)出HF中雜質(zhì)的含量：

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